SuperViewW1光學表面輪廓儀器通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術上的優勢獲得全面的表面特性。既可以用于科學研究，也可以用于工業產品的檢測。

SuperView W系列一鍵3d輪廓測量儀通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術上的優勢獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學研究，也可以用于工業產品的檢測。主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有測量晶圓翹曲度的功能。

中圖儀器SuperView W1非接觸三維表面輪廓測量儀器主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓，此外還具有測量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。既可以用于科學研究，也可以用于工業產品的檢測。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉三維形貌儀是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器?？梢詼y試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓，此外具有測量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。

SuperViewW1非接觸3d光學輪廓儀能夠以優于納米級的分辨率，測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有測量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。

SuperViewW3大尺寸白光干涉三維形貌儀具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能，其中表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數十微米的級別。是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。

從檢測效果和操作簡便上來看，w系列光學表面輪廓儀是比較有優勢的產品?？梢詼y到12mm，也可以測到更小的尺寸，xy載物臺標準行程為140*110mm（可擴展），局部位移精度可達亞微米級別，鏡頭的橫向分辨率數值可達0.4um，Z向掃描電機可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達0.1nm級別，因此可測非常微小尺寸的器件。

要想測量物體整個區域的表面情況，只能用自動拼接測量功能，但耗時較多。中圖儀器3d光學表面輪廓檢測儀的自動多區域測量功能，能在樣品表面抽取多個測量區域進行測量，從而對樣品進行評估分析。